據(jù)中國科學院重慶綠色智能技術研究院相關項目負責人介紹，光刻機是LCD面板制造投資份額最大的關鍵設備 設備及其關鍵技術一直受到國外公司制約該行業(yè)發(fā)展的限制。 為了打破國外光刻設備在LCD面板行業(yè)的壟斷地位，響應電子信息領域對先進技術，節(jié)能環(huán)保的低成本曝光設備的需求，中國科學院重慶研究所 美國科學部基于UVLED光源，突破LED/LD光學擴展量解決方案和束角變換理論，LED多自由形式精密配光技術，紫外波段自由曲面無機光學元件批量制造技術進行了新型曝光模塊的研究， 光電系統(tǒng)集成等多項關鍵技術，成功開發(fā)了“ 2”用于微電子光刻-12英寸UVLED平行光曝光模塊和“ 5KW，8KW，10KW汞燈替換UVLED光源模組”系列，用于PCB，LCD面板 與觸摸屏等光刻設備相比，產(chǎn)品強度，均勻性等關鍵指標均優(yōu)于國外原廠配置，并能滿足生產(chǎn)2
um級生產(chǎn)線，產(chǎn)品技術已達到國際領先水平。 目前，研發(fā)團隊已與重慶方正，深南電路等大型企業(yè)達成合作協(xié)議，與企業(yè)合作完成光刻設備的升級改造。 市場上此類光刻設備5萬余臺，產(chǎn)值將超過50億元。

據(jù)報道，中國已加入《水a(chǎn)m公約》，并禁止在2020年前進出口含汞商品?！兜统杀竟饪坦に嚭驮O備的開發(fā)與應用》UVLED光源模組的研究與開發(fā)UVLED光源模組。
“液晶面板”項目是大勢所趨。 以高效，節(jié)能，環(huán)保UVLED陣列作為曝光光源，通過自由曲面的精確配光和復眼均勻光方案，實現(xiàn)了大面積高強度均勻曝光，并且現(xiàn)有 光刻機水銀燈光源升級需求。 單以電費計算，每UVLED設備人每年可為公司節(jié)省使用成本約8萬元。 如果將目前市場上的5萬只汞燈雕刻設備全部升級，每年可節(jié)省電費40億元。 上述產(chǎn)品已申報15項專利，其中2項已獲授權。

UVLED光源固化技術是綠色產(chǎn)業(yè)的一項新技術。 它曾經(jīng)被北美輻射固化委員會評為具有“ 5E”特性的工業(yè)技術； 所謂5E是指Energy saving，節(jié)能，UV產(chǎn)品在室溫下快速固化，其能耗一般僅為熱固化的1/10?1/5。
Environmentalfriendly環(huán)保的UV固化材料不包含或僅包含少量溶劑，用于UV固化的能量為電能，不產(chǎn)生燃料或氣體，不產(chǎn)生CO2，因此UV固化被稱為“綠色技術”
“; 高效，高效性UV固化可在幾秒鐘內(nèi)實現(xiàn)完全固化，并具有較高的生產(chǎn)效率； 經(jīng)濟，經(jīng)濟，緊湊的紫外線固化設備和流水線生產(chǎn)，加工速度快，從而節(jié)省空間，勞動生產(chǎn)率高，紫外線固化工藝確保薄膜層更薄，并具有優(yōu)異的性能降低了消耗 原材料，有利于降低經(jīng)濟成本；
UV產(chǎn)品具有廣泛的適應性，可適應各種基材，例如紙張，木材，塑料，金屬，皮革，石材，玻璃，陶瓷以及幾乎所有的軟硬材料

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